半導(dǎo)體投入大，制造工序多，為了提高產(chǎn)品的良品率、確保收益，需要在半導(dǎo)體的每個環(huán)節(jié)進行質(zhì)量把控，影響產(chǎn)品質(zhì)量的其中一個重要因素就是溫度，溫度的穩(wěn)定性及精準度非常重要，為獲得穩(wěn)定可靠的產(chǎn)品保駕護航。

冠亞循環(huán)冷卻器和水- 水熱交換器為從前端到后端的整體半導(dǎo)體工藝流程提供支持。通過擁有超過16年的溫度控制經(jīng)驗以及與各大zhi名主設(shè)備機臺直接配套經(jīng)驗，我們?yōu)榘雽?dǎo)體客戶提供標準產(chǎn)品及用戶定制產(chǎn)品、溫度控制技術(shù)的專業(yè)知識以及全球化服務(wù)，有助于滿足您從鑄錠到測試的半導(dǎo)體工藝流程中苛刻的溫度要求。

型號	FLT-002	FLT-003	FLT-004	FLT-006	FLT-008	FLT-010	FLT-015
	FLT-002W	FLT-003W	FLT-004W	FLT-006W	FLT-008W	FLT-010W	FLT-015W
溫度范圍	5℃～40℃
控溫精度	±0.1℃
流量控制	10～25L/min  5bar max		15～45L/min  6bar max			25～75L/min  6bar max
制冷量at10℃	6kw	8kw	10kw	15 kw	20kw	25kw	40kw
內(nèi)循環(huán)液容積	4L	5L	6L	8L	10L	12L	20L
膨脹罐容積	10L	10L	15L	15L	20L	25L	35L
制冷劑	R410A
載冷劑	硅油、氟化液、乙二醇水溶液、DI等  （DI溫度需要控制10℃以上）
進出接口	ZG1/2	ZG1/2	ZG3/4	ZG3/4	ZG3/4	ZG1	ZG1
冷卻水口	ZG1/2	ZG1/2	ZG3/4	ZG1	ZG1	ZG1	ZG1 1/8
冷卻水流量at20℃	1.5m3/h	2m3/h	2.5m3/h	4m3/h	4.5m3/h	5.6m3/h	9m3/h
電源380V	3.5kW	4kW	5.5kW	7kW	9.5kW	12kW	16kW
溫度擴展	通過增加電加熱器，擴展-25℃～80℃

型號	FLT-202	FLT-203	FLT-204	FLT-206	FLT-208	FLT-210	FLT-215
	FLT-202W	FLT-203W	FLT-204W	FLT-206W	FLT-208W	FLT-210W	FLT-215W
溫度范圍	-25℃～40℃
控溫精度	±0.1℃
流量控制	10～25L/min ±0.3		15～45L/min ±0.3			25～75L/min ±0.3
	流量控制采用變頻器調(diào)節(jié)，循環(huán)泵最大壓力5bar
制冷量at-15℃	2kw	3kw	3.8kw	6kw	7.6kw	10kw	15kw
內(nèi)循環(huán)液容積	4L	5L	6L	8L	10L	12L	20L
膨脹罐容積	10L	10L	15L	15L	20L	25L	35L
制冷劑	R404A
載冷劑	硅油、氟化液、乙二醇水溶液等
進出接口	ZG1/2	ZG1/2	ZG3/4	ZG3/4	ZG3/4	ZG1	ZG1
冷卻水接口	ZG1/2	ZG1/2	ZG3/4	ZG3/4	ZG1	ZG1	ZG1 1/8
冷卻水流量at20℃	1.2m3/H	1.6m3/H	2.6m3/H	3.6m3/H	5.5m3/H	7m3/H	10.2m3/H
電源380V	3KW	4KW	6KW	8KW	9KW	13KW	17KW
溫度擴展	通過增加電加熱器，擴展-25℃～80℃

型號	FLT-402	FLT-403	FLT-404	FLT-406	FLT-408	FLT-410	FLT-415
	FLT-402W	FLT-403W	FLT-404W	FLT-406W	FLT-408W	FLT-410W	FLT-415W
溫度范圍	-45℃～40℃
控溫精度	±0.1℃
流量控制	10～25L/min  5bar max		15～45L/min 6bar max			25～75L/min 6bar max
制熱	采用壓縮機制熱，防止冷凝器結(jié)霜技術(shù)
制冷量at-35℃	1kw	1.4kw	1.8kw	2.5kw	3.3kw	5kw	8kw
內(nèi)循環(huán)液容積	4L	5L	6L	8L	10L	12L	20L
膨脹罐容積	10L	10L	15L	15L	20L	25L	35L
制冷劑	R404A
載冷劑	硅油、氟化液、乙醇水溶液等
進出接口尺寸	ZG1/2	ZG1/2	ZG3/4	ZG3/4	ZG3/4	ZG1	ZG3/4
冷卻水接口	ZG1/2	ZG3/4	ZG3/4	ZG1	ZG1	ZG1	ZG1 1/8
冷卻水流量at20℃	1.5m3/H	2.4m3/H	3.5m3/H	5m3/H	5.5m3/H	6m3/H	8m3/H
電源380V	3KW	4KW	6KW	7.5KW	9KW	12KW	15KW
溫度擴展	通過增加電加熱器，擴展-25℃～80℃

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