Chiller 雙變頻

半導體chiller 半導體溫控裝置Chiller

溫控精度±0.1℃
溫度范圍-30℃~40℃
泵壓力6bar max
內循環(huán)液容積8L
電源 220V 50/60HZ

半導體投入大，制造工序多，為了提高產品的良品率、確保收益，需要在半導體的每個環(huán)節(jié)進行質量把控，影響產品質量的其中一個重要因素就是溫度，溫度的穩(wěn)定性及精準度非常重要，為獲得穩(wěn)定可靠的產品保駕護航。

冠亞循環(huán)冷卻器和水- 水熱交換器為從前端到后端的整體半導體工藝流程提供支持。通過擁有超過16年的溫度控制經驗以及與各大zhi名主設備機臺直接配套經驗，我們?yōu)榘雽w客戶提供標準產品及用戶定制產品、溫度控制技術的專業(yè)知識以及全球化服務，有助于滿足您從鑄錠到測試的半導體工藝流程中苛刻的溫度要求。

型號	FLTZ-305W	FLTZ-305W/2T ?????????雙系統(tǒng)
溫度范圍	-30℃~40℃	-30℃~40℃	-30℃~40℃
控溫精度	±0.1℃	±0.1℃	±0.1℃
流量控制	15～45L/min ±0.3	15～45L/min ±0.3	15～45L/min ±0.3
泵壓力	6bar max	6bar max	6bar max
制熱	2.5kw	2.5kw	2.5kw
制冷量@15℃	11kw	11kw	11kw
制冷量@-15℃	5kw ??約4500rpm	5kw ??約4500rpm	5kw ??約4500rpm
內循環(huán)液容積	8L	8L	8L
膨脹罐容積	15L	25L
導熱介質	氟化液、防凍液、導熱硅油等
導熱介質接口	ZG3/4	ZG3/4	ZG3/4
冷卻水接口	ZG3/4	ZG3/4
冷卻水	30L/min @20℃	60L/min @20℃
電源	220V 50/60HZ	220V 50/60HZ
斷路器	40A	80A
尺寸	4507001600	6508501600
?	選配3.5kw電加熱，溫度可擴展到90℃，電源需要改成380V