Chiller低溫復(fù)疊制冷系列

半導(dǎo)體chiller 半導(dǎo)體溫控裝置Chiller

溫控精度±0.1℃
溫度范圍-80℃~+80℃
內(nèi)循環(huán)液容積4L~10L
膨脹罐容積10L~20L
電源 380V 50HZ

半導(dǎo)體投入大，制造工序多，為了提高產(chǎn)品的良品率、確保收益，需要在半導(dǎo)體的每個(gè)環(huán)節(jié)進(jìn)行質(zhì)量把控，影響產(chǎn)品質(zhì)量的其中一個(gè)重要因素就是溫度，溫度的穩(wěn)定性及精準(zhǔn)度非常重要，為獲得穩(wěn)定可靠的產(chǎn)品保駕護(hù)航。

冠亞循環(huán)冷卻器和水- 水熱交換器為從前端到后端的整體半導(dǎo)體工藝流程提供支持。通過(guò)擁有超過(guò)16年的溫度控制經(jīng)驗(yàn)以及與各大zhi名主設(shè)備機(jī)臺(tái)直接配套經(jīng)驗(yàn)，我們?yōu)榘雽?dǎo)體客戶提供標(biāo)準(zhǔn)產(chǎn)品及用戶定制產(chǎn)品、溫度控制技術(shù)的專業(yè)知識(shí)以及全球化服務(wù)，有助于滿足您從鑄錠到測(cè)試的半導(dǎo)體工藝流程中苛刻的溫度要求。

型號(hào)	FLT-803W	FLT-805W	FLT-806W	FLT-808W	FLT-810W
溫度范圍	-80℃～+80℃
控溫精度	±0.1℃
流量控制	7～25L/min		12～45L/min
流量控制	流量控制采用變頻器調(diào)節(jié)，根據(jù)流量傳感器反饋信號(hào)自動(dòng)調(diào)節(jié)轉(zhuǎn)速，循環(huán)泵zui大壓力6bar
制冷量@-70℃	0.6KW	1KW	1.5KW	2KW	3KW
加熱功率	2KW	2KW	2KW	3.5KW	3.5KW
內(nèi)循環(huán)液容積	4L	5L	6L	8L	10L
膨脹罐容積	10L	10L	15L	15L	20L
導(dǎo)熱介質(zhì)	氟化液
進(jìn)出接口	ZG1/2	ZG1/2	ZG3/4	ZG3/4	ZG3/4
冷卻水接口	ZG3/4	ZG3/4	ZG3/4	G1	G1
冷卻水@20℃	1.8m3/h	2.5m3/h	3m3/h	5m3/h	6m3/h
電源	380V 50HZ
斷路器	25A	25A	32A	40A	50A

型號(hào)	FLT-1002W	FLT-1004W
溫度范圍	-100℃～+80℃	-100℃～+80℃
控溫精度	±0.1℃	±0.1℃
流量控制	7～25L/min	12～45L/min
?	流量控制采用變頻器調(diào)節(jié)，根據(jù)流量傳感器反饋信號(hào)自動(dòng)調(diào)節(jié)轉(zhuǎn)速，循環(huán)泵zui大壓力6bar
制冷量@-90℃	1.5KW	3KW
加熱功率	3.5KW	5.5KW
內(nèi)循環(huán)液容積	5L	8L
膨脹罐容積	10L	15L
導(dǎo)熱介質(zhì)	氟化液
導(dǎo)熱介質(zhì)接口	G3/4	G3/4
冷卻水接口	G3/4	G1
冷卻水@20℃	50L/min 2bar~7bar	100L/min 2bar~7bar
電源	380V 50HZ	380V 50HZ
斷路器	32A	63A
尺寸	7008001850	80012001850