半導(dǎo)體投入大，制造工序多，為了提高產(chǎn)品的良品率、確保收益，需要在半導(dǎo)體的每個(gè)環(huán)節(jié)進(jìn)行質(zhì)量把控，影響產(chǎn)品質(zhì)量的其中一個(gè)重要因素就是溫度，溫度的穩(wěn)定性及精準(zhǔn)度非常重要，為獲得穩(wěn)定可靠的產(chǎn)品保駕護(hù)航。

冠亞循環(huán)冷卻器和水- 水熱交換器為從前端到后端的整體半導(dǎo)體工藝流程提供支持。通過擁有超過16年的溫度控制經(jīng)驗(yàn)以及與各大zhi名主設(shè)備機(jī)臺(tái)直接配套經(jīng)驗(yàn)，我們?yōu)榘雽?dǎo)體客戶提供標(biāo)準(zhǔn)產(chǎn)品及用戶定制產(chǎn)品、溫度控制技術(shù)的專業(yè)知識(shí)以及全球化服務(wù)，有助于滿足您從鑄錠到測(cè)試的半導(dǎo)體工藝流程中苛刻的溫度要求。

型號(hào)	FLTZ-305W	FLTZ-305W/2T ?????????雙系統(tǒng)
溫度范圍	-30℃~40℃	-30℃~40℃	-30℃~40℃
控溫精度	±0.1℃	±0.1℃	±0.1℃
流量控制	15～45L/min ±0.3	15～45L/min ±0.3	15～45L/min ±0.3
泵壓力	6bar max	6bar max	6bar max
制熱	2.5kw	2.5kw	2.5kw
制冷量@15℃	11kw	11kw	11kw
制冷量@-15℃	5kw ??約4500rpm	5kw ??約4500rpm	5kw ??約4500rpm
內(nèi)循環(huán)液容積	8L	8L	8L
膨脹罐容積	15L	25L
導(dǎo)熱介質(zhì)	氟化液、防凍液、導(dǎo)熱硅油等
導(dǎo)熱介質(zhì)接口	ZG3/4	ZG3/4	ZG3/4
冷卻水接口	ZG3/4	ZG3/4
冷卻水	30L/min @20℃	60L/min @20℃
電源	220V 50/60HZ	220V 50/60HZ
斷路器	40A	80A
尺寸	450*700*1600	650*850*1600
?	選配3.5kw電加熱，溫度可擴(kuò)展到90℃，電源需要改成380V

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型號(hào)	FLT-803W	FLT-805W	FLT-806W	FLT-808W	FLT-810W
溫度范圍	-80℃～+80℃
控溫精度	±0.1℃
流量控制	7～25L/min		12～45L/min
	流量控制采用變頻器調(diào)節(jié)，根據(jù)流量傳感器反饋信號(hào)自動(dòng)調(diào)節(jié)轉(zhuǎn)速，循環(huán)泵zui大壓力6bar
制冷量@-70℃	0.6KW	1KW	1.5KW	2KW	3KW
加熱功率	2KW	2KW	2KW	3.5KW	3.5KW
內(nèi)循環(huán)液容積	4L	5L	6L	8L	10L
膨脹罐容積	10L	10L	15L	15L	20L
導(dǎo)熱介質(zhì)	氟化液
進(jìn)出接口	ZG1/2	ZG1/2	ZG3/4	ZG3/4	ZG3/4
冷卻水接口	ZG3/4	ZG3/4	ZG3/4	G1	G1
冷卻水@20℃	1.8m3/h	2.5m3/h	3m3/h	5m3/h	6m3/h
電源	380V 50HZ
斷路器	25A	25A	32A	40A	50A

型號(hào)	FLT-1002W	FLT-1004W
溫度范圍	-100℃～+80℃	-100℃～+80℃
控溫精度	±0.1℃	±0.1℃
流量控制	7～25L/min	12～45L/min
?	流量控制采用變頻器調(diào)節(jié)，根據(jù)流量傳感器反饋信號(hào)自動(dòng)調(diào)節(jié)轉(zhuǎn)速，循環(huán)泵zui大壓力6bar
制冷量@-90℃	1.5KW	3KW
加熱功率	3.5KW	5.5KW
內(nèi)循環(huán)液容積	5L	8L
膨脹罐容積	10L	15L
導(dǎo)熱介質(zhì)	氟化液
導(dǎo)熱介質(zhì)接口	G3/4	G3/4
冷卻水接口	G3/4	G1
冷卻水@20℃	50L/min 2bar~7bar	100L/min 2bar~7bar
電源	380V 50HZ	380V 50HZ
斷路器	32A	63A
尺寸	700*800*1850	800*1200*1850

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型號(hào)	ETCU-005W	ETCU-008W	ETCU-015W	ETCU-030W
溫度范圍	冷卻水溫度?+5℃~90℃?±0.3℃
冷卻水溫度	7℃~30℃ 采用西門子/霍尼韋爾調(diào)節(jié)閥控制冷卻水流量
冷卻能力	5kw	8kw	15kw	30kw
?	測(cè)試條件：zui大循環(huán)量時(shí)，控溫溫度與冷卻水溫度溫差15℃
循環(huán)泵流量	7~20L/min 5bar	7~20L/min 5bar	15~40L/min 5bar	20~60L/min 5bar
儲(chǔ)罐容積	6L	8L	10L	15L
尺寸	480*750*390	480*750*390	480*750*390	480*750*500
電源	220V 50HZ/60hz?0.6kw		220V 50HZ/60hz1.3kw	220V 50HZ/60hz 1.6kw

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型號(hào)	FLT-002	FLT-003	FLT-004	FLT-006	FLT-008	FLT-010	FLT-015
	FLT-002W	FLT-003W	FLT-004W	FLT-006W	FLT-008W	FLT-010W	FLT-015W
溫度范圍	5℃～40℃
控溫精度	±0.1℃
流量控制	10～25L/min  5bar max		15～45L/min  6bar max			25～75L/min  6bar max
制冷量at10℃	6kw	8kw	10kw	15 kw	20kw	25kw	40kw
內(nèi)循環(huán)液容積	4L	5L	6L	8L	10L	12L	20L
膨脹罐容積	10L	10L	15L	15L	20L	25L	35L
制冷劑	R410A
載冷劑	硅油、氟化液、乙二醇水溶液、DI等  （DI溫度需要控制10℃以上）
進(jìn)出接口	ZG1/2	ZG1/2	ZG3/4	ZG3/4	ZG3/4	ZG1	ZG1
冷卻水口	ZG1/2	ZG1/2	ZG3/4	ZG1	ZG1	ZG1	ZG1 1/8
冷卻水流量at20℃	1.5m3/h	2m3/h	2.5m3/h	4m3/h	4.5m3/h	5.6m3/h	9m3/h
電源380V	3.5kW	4kW	5.5kW	7kW	9.5kW	12kW	16kW
溫度擴(kuò)展	通過增加電加熱器，擴(kuò)展-25℃～80℃

型號(hào)	FLT-202	FLT-203	FLT-204	FLT-206	FLT-208	FLT-210	FLT-215
	FLT-202W	FLT-203W	FLT-204W	FLT-206W	FLT-208W	FLT-210W	FLT-215W
溫度范圍	-25℃～40℃
控溫精度	±0.1℃
流量控制	10～25L/min ±0.3		15～45L/min ±0.3			25～75L/min ±0.3
	流量控制采用變頻器調(diào)節(jié)，循環(huán)泵最大壓力5bar
制冷量at-15℃	2kw	3kw	3.8kw	6kw	7.6kw	10kw	15kw
內(nèi)循環(huán)液容積	4L	5L	6L	8L	10L	12L	20L
膨脹罐容積	10L	10L	15L	15L	20L	25L	35L
制冷劑	R404A
載冷劑	硅油、氟化液、乙二醇水溶液等
進(jìn)出接口	ZG1/2	ZG1/2	ZG3/4	ZG3/4	ZG3/4	ZG1	ZG1
冷卻水接口	ZG1/2	ZG1/2	ZG3/4	ZG3/4	ZG1	ZG1	ZG1 1/8
冷卻水流量at20℃	1.2m3/H	1.6m3/H	2.6m3/H	3.6m3/H	5.5m3/H	7m3/H	10.2m3/H
電源380V	3KW	4KW	6KW	8KW	9KW	13KW	17KW
溫度擴(kuò)展	通過增加電加熱器，擴(kuò)展-25℃～80℃

型號(hào)	FLT-402	FLT-403	FLT-404	FLT-406	FLT-408	FLT-410	FLT-415
	FLT-402W	FLT-403W	FLT-404W	FLT-406W	FLT-408W	FLT-410W	FLT-415W
溫度范圍	-45℃～40℃
控溫精度	±0.1℃
流量控制	10～25L/min  5bar max		15～45L/min 6bar max			25～75L/min 6bar max
制熱	采用壓縮機(jī)制熱，防止冷凝器結(jié)霜技術(shù)
制冷量at-35℃	1kw	1.4kw	1.8kw	2.5kw	3.3kw	5kw	8kw
內(nèi)循環(huán)液容積	4L	5L	6L	8L	10L	12L	20L
膨脹罐容積	10L	10L	15L	15L	20L	25L	35L
制冷劑	R404A
載冷劑	硅油、氟化液、乙醇水溶液等
進(jìn)出接口尺寸	ZG1/2	ZG1/2	ZG3/4	ZG3/4	ZG3/4	ZG1	ZG3/4
冷卻水接口	ZG1/2	ZG3/4	ZG3/4	ZG1	ZG1	ZG1	ZG1 1/8
冷卻水流量at20℃	1.5m3/H	2.4m3/H	3.5m3/H	5m3/H	5.5m3/H	6m3/H	8m3/H
電源380V	3KW	4KW	6KW	7.5KW	9KW	12KW	15KW
溫度擴(kuò)展	通過增加電加熱器，擴(kuò)展-25℃～80℃

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